エッジ検査ハンドリング装置（EHI-01型）
φ300 mmシリコンウェーハを目視でエッジ検査（チップ・カケ検査）する為の装置です
ウェーハを5枚ずつFOSBから検査ステージへ搬送し、検査後のウェーハは同一FOSBの同一スロットへ戻します。 ウェーハはエッジクランプ方式で取り扱います。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
ハンドリング装置×株式会社ジャステム - メーカー・企業と製品の一覧
ハンドリング装置の製品一覧
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ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）
シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置です
ウェーハを真空吸着方式で取り扱います。 従来、作業者が手で行っていたウェーハのハンドリング作業を、この装置を使用することで、品質の向上を図ることができます。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
