最高級洗浄槽 USL石英スタティックバス
’’ ウエハーキャリアをまるごと薬品洗浄可能です。
急速加熱が可能! 190℃まで上昇可能な高純度石英バスです。 USL石英スタティックバスは、半導体・エレクトロニクス・液晶(有機EL・無機EL)・化学実験・拡散・エッチング工程などに最適です。 純透明石英(99.99%シリカ)、急速加熱ができ 190℃まで上昇可能な高純度石英バスです。 ウエハーキャリアをまるごと薬品洗浄可能です。 【特徴】 ○安全設計の温度コントローラー ○温度制御が正確 ○温度分布が均一(±0.5℃以内) ○耐熱・耐薬品性が抜群(UL安全規格承認) ○内槽/外装とも耐久性抜群なモールド成形品 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業:株式会社ユニバーサル
- 価格:応相談