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バルブ×スウェージロック・ジャパン - メーカー・企業と製品の一覧

バルブの製品一覧

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原子層蒸着(ALD)用バルブ ALD20

原子層蒸着(ALD)用バルブ ALD20

さらなる領域へ、ALDバルブ技術のブレイクスルー

Swagelok 原子層蒸着(ALD)用バルブは、高速開閉と再現性に高い作動機能を有し、非常に優れたサイクル・ライフを実現します。さらなる微細化・高度化へのニーズに対応すべく、大流量・高温用途向けの「ALD 20」を製品ラインアップに追加しました。ALD（原子層蒸着）用途での性能を最適にするため、 アクチュエーターやインジケーター、ソレノイドなど各種オプションも取り揃えています。 【特長】 非常に優れたサイクル・ライフを実現 高速の開閉機能 （オープン／クローズに要する時間は5ミリ秒未満） 高温下でも安定した流量と再現性を実現 膨潤とコンタミネーションへの耐性を高め、シール性能の優れたシート 流路から障害物を一掃し、たまり部分を最小限に抑えるボディ・デザイン ＜3つの課題に 超高純度用 ALD20バルブ＞ 1. 大流量：既存ALDバルブのほぼ3倍にあたる最大1.7Cvの流量係数を実現（当社比） 2. 高温：アクチュエーター部分を含め、バルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することが可能 3. 高性能：耐食性に優れているため、腐食性の高い流体も使用可能

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ブリード・バルブ／パージ・バルブ

ブリード・バルブ／パージ・バルブ

シグナル・ラインの圧力の大気中への排出や制御装置の校正補助

ブリード・バルブ／パージ・バルブは、シグナル・ラインの圧力の大気中への排出や、制御装置の校正補助を行います。 ブリード・バルブ ■ 最高使用圧力：68.9 MPa ■ 最高使用温度：454℃ ■ 材質：316ステンレス鋼、炭素鋼、合金400、合金C-276 パージ・バルブ ■ 最高使用圧力：27.5 MPa ■ 最高使用温度：315℃ ■ 材質：316ステンレス鋼、真ちゅう、炭素鋼

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ベローズ･シール･バルブ B / H シリーズ

ベローズ･シール･バルブ B / H シリーズ

信頼性が高く漏れの無い性能を発揮

ベローズ・シール・バルブは、パックレス構造および溶接シールを採用することで、信頼性が高く漏れの無い性能を発揮し、特に大気へのシールが重要な場合に大気への漏れを防止します。 一般用途および高純度用途向けに、さまざまな型式、ステム・チップ材質、流量係数（Cv値）範囲、エンド・コネクションを選ぶことができます。

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3ピース型トラニオン型ボール・バルブ　83／H83シリーズ

3ピース型トラニオン型ボール・バルブ　83／H83シリーズ

トラニオン型ボールで ボールのブローアウトを防止

特長 ■ 最高使用圧力：68.9 MPa ■ エンド・コネクション・タイプ：Swagelok チューブ継手、NPT ねじ ■ エンド・コネクション・サイズ：1/8 インチから 1/2 インチまで、6 mm から 12 mm まで ■ 材質：316 ステンレス鋼 スウェージロックでは、フル・フロー型、計装用一体型、3ピース型プロセス用、トラニオン型、多目的用（代替燃料用または汎用）のボール・バルブを取り揃えています。

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ベローズ･シール･バルブ「Uシリーズ」

ベローズ･シール･バルブ「Uシリーズ」

高温用補助パッキン付きベローズ・バルブ

パックレス設計および溶接式シールを搭載したSwagelokベローズ・バルブを使えば、システム流体に触れないようにし、高い信頼性とリーク・タイト性能を実現することができます。 ベローズ・バルブは、外部への漏れ防止が重要になる用途に最適です。当社は、一般用／高純度用にさまざまなオプションをご用意しております。

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ベローズ･シール･バルブ「 HBシリーズ」

ベローズ･シール･バルブ「 HBシリーズ」

外部への漏れ防止が重要になる用途に最適

パックレス設計および溶接式シールを搭載したSwagelokベローズ・バルブを使えば、システム流体に触れないようにし、高い信頼性とリーク・タイト性能を実現することができます。 ベローズ・バルブは、外部への漏れ防止が重要になる用途に最適です。 当社は、一般用／高純度用にさまざまなオプションをご用意しております。

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【半導体業界の課題解決に】ALD（原子層蒸着）用バルブ

【半導体業界の課題解決に】ALD（原子層蒸着）用バルブ

大流量・高温・高性能。生産性向上に貢献する超高純度用ALD用バルブ

ALD（原子層蒸着）プロセスの生産性を高めるには、バルブの熱安定性や流量により高い性能が求められます。 スウェージロックの「原子層蒸着（ALD）用バルブ」は、長寿命を実現し、高速かつ再現性に優れた性能を発揮。より高い熱安定性を求める用途や大流量によるプロセス効率化の向上に寄与する製品も提供。腐食性の高い流体での使用にも優れています。 ※詳しくはお問い合わせ、またはPDFをダウンロードしてください。

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過酷条件用ユニオン・ボンネット型ニードル・バルブ

過酷条件用ユニオン・ボンネット型ニードル・バルブ

幅広いアプリケーションで高い流量制御

ユニオン・ボンネット構造のニードル・バルブには、さまざまな材質のバルブがございます。 最高使用圧力は68.9 MPa、最高使用温度は648℃です。 Nシリーズ／HNシリーズ ■ 最高使用圧力 ： 68.9 MPa ■ 使用温度範囲 ： PTFE 製パッキンの場合 ： 253°Cから232°C まで Grafoil(R) 製パッキンの場合 ： 648°C まで ■ 材質：316 ステンレス鋼、 316 ／ 316L ステンレス鋼（デュアル・グレード品）、合金 400、合金 20、合金 600、 合金 C-276、チタニウム

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バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ「LDシリーズ」

バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ「LDシリーズ」

クリーンなオペレーションを保持

バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ LDシリーズは、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまな用途に対応することができます。 LD シリーズ ■ 最高使用圧力：2.06 MPa ■ 用途：締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用 ■ ボディ材質：ステンレス鋼（ 鋳造製／鍛造製／バー・ストック製） ■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチから1 インチまで、12 mm から25 mm まで

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スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ　DPシリーズ

スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ　DPシリーズ

超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ

スウェージロックのダイヤフラム・シール・バルブを使えば、高純度システムや超高純度システムにおけるニーズに対応することができます。ダイヤフラム・バルブは、幅広い用途向けに、さまざまなサイズ、材質、形状を ご用意しております。 【特徴】DP シリーズ ■ 超高純度用 ■ ボディ材質:316L VIM-VAR ステンレス鋼 ■ モデル:低圧型、高圧型 ■ エンド・コネクション・タイプ:VCR(R) メタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル ■ アクチュエーター・タイプ:手動式、空気式

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超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ　DRPシリーズ

超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ　DRPシリーズ

スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バルブ

DRPシリーズは、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の 溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄することができます。特に、スラリーを使用する CMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化の可能性を低減させるために、流体のせん断の発生を最小限に 抑えています。次世代PTFE製ダイヤフラムは、その独自の形状で、作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの 完全性、長いサイクル・ライフを促進します。また、ダイヤフラムの厚さを最大限に確保して、酸が透過する可能性を最小に低減しています。同製品は、高い耐化学薬品性と純度を実現するために、接液・接ガス部に、次世代フッ素樹脂、デュポン(R)テフロン(R)を採用しております。さらに、「超純水および液体化学薬品配分システム内に使用するポリマー製部品の暫定仕様」SEMI(R)F57-0301の要件に適合しています。

  • DRPシリーズ.PNG
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多目的用ボール・バルブ、AFSシリーズ

多目的用ボール・バルブ、AFSシリーズ

代替燃料向けボール・バルブ

多目的用AFSボール・バルブ（2方タイプ）は、流量係数（Cv値）が13.8まであり、大流量および高圧への対応が必要な圧縮天然ガス、水素や他の一般産業用途での使用に適合します。 低トルクでの操作可能で、パッキンの調節が不要です。 またECE R110、NGV 3.1、NGV 4.6に準拠しており、水素および圧縮天然ガス（CNG）用途にも適しています。 【特長】 ■ 最高使用圧力：41.3 MPa ■ 流量係数（Cv 値）：4.0 から 13.8 まで ■ エンド・コネクション：Swagelok チューブ継手（インチ・サイズ・タイプ、ミリ ･ サイズ・タイプ）、管用ねじ（ISO、 NPT） ■ ボディおよびエンド・コネクションの材質：316 ステンレス鋼 ■ アクチュエーター・タイプ：手動式、空気式

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ラジアル・ダイヤフラム・バルブ　DRシリーズ

ラジアル・ダイヤフラム・バルブ　DRシリーズ

ラジアル・ダイヤフラム・バルブ DR シリーズを使用すると、滅菌フローの管理を清浄かつコンパクトに行うことができます。

接液・接ガス部の材質：316L ステンレス鋼および次世代PTFE／コンパクトで、さまざまなタイプのマルチバルブ／マルチポート・ボディ／エンド・コネクション：サニタリー・クランプ継手、突き合わせ溶接など／アクチュエーター（空気式、手動式）の材質：プラスチック、アルミニウム／サイズ：1/2 インチ、3/4 インチ、1 インチ、1 1/2 インチ、2 インチ

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多目的用ボール・バルブ「SKシリーズ」

多目的用ボール・バルブ「SKシリーズ」

低トルクかつ1/4 回転で開閉でき、コンパクトなデザインながら 41.3 MPa までの圧力で確実に締め切ります。

■手動操作の他に、標準のSwagelok製またはISO 5211準拠のラック・アンド・ピニオン式空気式アクチュエーターでも使用可能。 ■サイズは、１／４インチ（６ｍｍ）と３／８インチ（８ｍｍ）。 ■その他の供給可能なオプションには、低温用途、サワー・ガス（硫化水素）用途などがあり。 ■最高使用圧力は４１．３ＭＰａ、使用温度範囲は−４０℃〜１５０℃。 ■ 低排出認定 （API 624）の取得が可能

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プロセス・インターフェース・バルブ

プロセス・インターフェース・バルブ

一体型アセンブリーへの置き換え、リーク・ポイント数の削減や、軽量化／コンパクト化が可能

材質：ステンレス鋼、炭素鋼、2相ステンレス鋼／最高使用圧力：ASME B16.5 準拠／ フランジ接続：ASME B16.5 適合／ ボール･バルブ内径サイズ：9.5 mm から 50.8 mm まで

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