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クリーンなオペレーションを保持
バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ LDシリーズは、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまな用途に対応することができます。 LD シリーズ ■ 最高使用圧力：2.06 MPa ■ 用途：締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用 ■ ボディ材質：ステンレス鋼（ 鋳造製／鍛造製／バー・ストック製） ■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチから1 インチまで、12 mm から25 mm まで
超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ
スウェージロックのダイヤフラム・シール・バルブを使えば、高純度システムや超高純度システムにおけるニーズに対応することができます。ダイヤフラム・バルブは、幅広い用途向けに、さまざまなサイズ、材質、形状を ご用意しております。 【特徴】DP シリーズ ■ 超高純度用 ■ ボディ材質:316L VIM-VAR ステンレス鋼 ■ モデル:低圧型、高圧型 ■ エンド・コネクション・タイプ:VCR(R) メタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル ■ アクチュエーター・タイプ:手動式、空気式
スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バルブ
DRPシリーズは、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の 溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄することができます。特に、スラリーを使用する CMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化の可能性を低減させるために、流体のせん断の発生を最小限に 抑えています。次世代PTFE製ダイヤフラムは、その独自の形状で、作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの 完全性、長いサイクル・ライフを促進します。また、ダイヤフラムの厚さを最大限に確保して、酸が透過する可能性を最小に低減しています。同製品は、高い耐化学薬品性と純度を実現するために、接液・接ガス部に、次世代フッ素樹脂、デュポン(R)テフロン(R)を採用しております。さらに、「超純水および液体化学薬品配分システム内に使用するポリマー製部品の暫定仕様」SEMI(R)F57-0301の要件に適合しています。
ラジアル・ダイヤフラム・バルブ DR シリーズを使用すると、滅菌フローの管理を清浄かつコンパクトに行うことができます。
接液・接ガス部の材質：316L ステンレス鋼および次世代PTFE／コンパクトで、さまざまなタイプのマルチバルブ／マルチポート・ボディ／エンド・コネクション：サニタリー・クランプ継手、突き合わせ溶接など／アクチュエーター（空気式、手動式）の材質：プラスチック、アルミニウム／サイズ：1/2 インチ、3/4 インチ、1 インチ、1 1/2 インチ、2 インチ
耐圧部材はすべて金属
DL シリーズ/ DS シリーズ ◆特徴 ■パッキンを用いておらず、耐圧部材はすべて金属 ■使用圧力範囲:真空から 24.1 MPa まで ■使用温度範囲:273°C から 121°C まで
超高純度用大流量ダイヤフラム・バルブ
ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を 最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、 原子層蒸着（ALD）用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。
