【新製品】超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」
数百万サイクルにわたり、ALD用プリカーサーの高精度供給を実現。半導体製造の歩留り向上に貢献するシリーズ最高位モデル
超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」は、 半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど 超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。 製品ごとの個体差を減らしたことで、 流量、アクチュエーターの速度、熱安定性などの各種性能に一貫性があり、 バルブ間・プリカーサーの供給間・チャンバー間の すべてにおいて高いパフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■コンパクトで高性能。省メンテナンスも実現 ■数百万サイクルにわたり、プリカーサーの正確な供給が可能 ■高速作動を実現。レスポンスタイムは最速5ms ■アクチュエーターは150℃、バルブ本体は200℃の優れた耐熱性 ■ボディに当社独自の「316L VIM-VARステンレス鋼」を採用。高耐食を実現 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：スウェージロック・ジャパン
- 価格：応相談
