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バルブ(ガス配管) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

1~7 件を表示 / 全 7 件

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高純度ガス系 2連3方バルブ(ブロックタイプ)

配管流路のデッドスペースを極小化、優れた脱ガス特性!特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能

『2連3方バルブ(ブロックタイプ)』は、KD・KCD・RD シリーズ、 各シリーズダイヤフラムバルブの2台(2連)を一つにまとめ、配管流路を 共通化することによりデッドスペースを極小化した脱ガス特性の優れたバルブです。 基本性能は、ベースとなるバルブの性能を受け継ぎ、同種及び異種の 組み合わせにより、配管システムを極小にコンパクト設計することが可能。 また、配管レイアウトに合わせた好適のフローシステム、配管取り回し、 継手種類を選択する事ができます。 【特長】 ■優れた脱ガス特性 ■基本性能は、ベースとなるバルブの性能を受け継ぐ ■配管システムを極小にコンパクト設計することが可能 ■好適のフローシステム、配管取り回し、継手種類を選択できる ■特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能 #マニホールドバルブ ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『VRDシリーズ』

半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に!全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化

『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4 高圧用 ダイレクトダイヤフラムバルブです。 従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い 低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮し コンパクト化しています。 高圧及び高度の真空保持や外気への漏れを完全に防止したい ガスラインや装置内配管等にご使用いただけます。 【特長】 ■封入ガス圧20.6MPaに対応 ■従来品の性能そのままに、部品点数の削減を行い低プライス化を実現 ■「RDシリーズ」に比べ操作トルクの低減を行っている ■全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化 ■低トルク、コンパクト化を実現したことにより今まで以上に使いやすい ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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リリーフ機能付ダイヤフラムバルブ『KDシリーズ』

異常圧力が発生した際、配管内の圧力を下げる安全機能付きダイヤフラムバルです。シリンダーキャビネット等の安全対策に!

『KDシリーズ』は、異常圧力が発生した際、配管内の圧力を下げる 安全機能付きダイヤフラムバルブです。 選べるクラッキング圧力(1.0-1.4MPa(G)または1.6-2.0MPa(G))と 接ガス部にスプリング・Oリングが無いパーティクルフリー構造。 シリンダーキャビネット等の安全対策にご使用いただけます。 【特長】 ■配管内がクラッキング圧力以上になると自動的に一次側の  圧力を下げる安全機能が搭載 ■選べるクラッキング圧力(1.0-1.4MPa(G)または1.6-2.0MPa(G)) ■接ガス部にスプリング・Oリングが無いパーティクルフリー構造 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『ツーステップバルブ』

1台で流量調整と全開/全閉の2段階のコントロールを可能とした画期的な複合バルブです。

『ツーステップバルブ』は、1台で手動による流量調整と エアーアクチュエーターによる全開/全閉の2段階のコントロールを 可能とした画期的な複合バルブです。 ニードルではなくダイヤフラムで流体を制御するため、 パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現。 従来システムのバイパス配管や制御機器が不要になり、 大幅なコストダウンと省スペース化が可能です。 【特長】 ■1台で手動による流量の調整とエアーアクチュエーターによる  全開/全閉の2段階のコントロールを可能 ■パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現 ■従来システムのバイパス配管や制御機器が不要 ■大幅なコストダウンと省スペース化が可能 ■使用目的に合わせた好適なCv値が任意で設定できる ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っています。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ベローズバルブ『SBB』

コンパクトでかつ高Cv値・耐久性を兼ね備えたパイプサイズのベローズバルブ!

『SBB』シリーズは、コンパクトな設計でありながら高いCv値と耐久性能を 持った供給ラインで使用することを前提とした、パイプサイズのベローズ バルブです。 エア供給口を頭部に設定することで、配管向きを気にすることがなく 設計でき、パージポートをオプション仕様として、1次側、2次側、両側に 対応可能。 シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用しています。 【特長】 ■ストレートタイプ ■ボディを鍛造にすることで軽量化 ■シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用 ■パージポートをオプション仕様として、1次側、2次側、両側に対応可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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クリーンバタフライバルブ『BZD』

半導体グレードに対応したバタフライバルブです。シール性を良くし、余分な圧着力を必要としない!小さな開閉トルクで操作が可能

『BZD』シリーズは、従来の汎用バタフライバルブに独自のクリーン化技術を 投入し完成された、半導体グレードに対応したバタフライバルブです。 本体及び接液部品がステンレス製のウエハー形の工業用バタフライバルブで、 パーティクルの滞留や付着を少なくするため、接ガス(接液)部を研磨仕上げと 禁油処理を施しております。 ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能です。 【特長】 ■二重偏心構造を採用し高いシール性を確保 ■小さな開閉トルクで操作が可能 ■シート材質は耐久性のあるPTFEを採用 ■小さな力で操作でき、レバー操作式に比べ小スペースの配管が可能 ■ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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Y型ベローズバルブ『IBC/IBD/IBE』

大径サイズストレートタイプ!当社独自のY型構造により、より高いCv値を実現

『IBC/IBD/IBE』シリーズは、「SBB」シリーズ同様、コンパクトな 設計でありながら高いCv値と耐久性能を持った供給ラインで使用 することを前提とした、大径のパイプサイズベローズバルブです。 「IBC/IBD」タイプの内面は、全面円筒機械加工することにより、 均一に仕上がっており、「IBE」タイプはベアリング内蔵のネジスリーブ 構造の為、ハンドルトルクが小さく操作性に優れております。 パージポートをオプション仕様として、1次側、2次側、両側に対応可能です。 【特長】 ■当社独自のY型構造の為、S型より高いCv値を実現 ■シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用 ■コンパクトな設計 ■大径サイズストレートタイプ ■パージポートをオプション仕様として、1次側、2次側、両側に対応可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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