半導体グレードに対応したバタフライバルブです。シール性を良くし、余分な圧着力を必要としない！小さな開閉トルクで操作が可能
『BZD』シリーズは、従来の汎用バタフライバルブに独自のクリーン化技術を 投入し完成された、半導体グレードに対応したバタフライバルブです。 本体及び接液部品がステンレス製のウエハー形の工業用バタフライバルブで、 パーティクルの滞留や付着を少なくするため、接ガス（接液）部を研磨仕上げと 禁油処理を施しております。 ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能です。 【特長】 ■二重偏心構造を採用し高いシール性を確保 ■小さな開閉トルクで操作が可能 ■シート材質は耐久性のあるPTFEを採用 ■小さな力で操作でき、レバー操作式に比べ小スペースの配管が可能 ■ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（抜粋）】 ■使用最高圧力：0.98MPa（G） ■使用流体温度範囲：-10 ～ 80℃ ■環境温度範囲：-10 ～ 60℃ ■使用流体：不活性ガス（活性ガス・腐食性ガスには対応できません。） ■作動耐久性：1万回 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。
