1～3 件を表示 ／ 全 3 件
軸シールにベローズを使用！ガス導入時大気の混入する心配がありません
『951-7179 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを 導入するための製品です。 軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、 真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。 高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして 適しています。また、10^-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能です。 【特長】 ■超高真空領域用 ■大気混入なし ■優れた許容加熱性 ■容易なメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全金属製で450℃までのベーキングが可能！広範囲にわたりガス流量の調節ができます
『超高真空バリアブルリークバルブ』は、導入ガス流量の調節を 必要とする真空装置に使用する製品です。 調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下と きわめて微少流量領域からのガス導入が可能。 また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、 超高真空装置用に適しています。 【特長】 ■熱と外部衝撃に強いシール部 ■微少ガス流量を安定調節 ■優れた許容加熱性 ■広範囲ガス流量の調節が可能 ■超高真空接続可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
特別な制御回路は必要なし！被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止
『V-025SV』は、主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。 カットバルブとベントバルブの機能を装備。停電や誤操作などによる ポンプ油の逆流防止に役立ちます。 駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用します。従来の 自動バルブのような圧縮空気およびそのための配管は不要です。 (ポンプが動作していない状態ではバルブは開きません。) 【特長】 ■ポンプ油の逆流防止 ■圧縮空気およびその配管は不要 ■駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用 ■制御回路不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい
