全金属製で450℃までのベーキングが可能！広範囲にわたりガス流量の調節ができます
『超高真空バリアブルリークバルブ』は、導入ガス流量の調節を 必要とする真空装置に使用する製品です。 調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下と きわめて微少流量領域からのガス導入が可能。 また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、 超高真空装置用に適しています。 【特長】 ■熱と外部衝撃に強いシール部 ■微少ガス流量を安定調節 ■優れた許容加熱性 ■広範囲ガス流量の調節が可能 ■超高真空接続可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■使用真空領域：大気圧～10^-8Pa程度 ■調節可能最少リーク量：6.7×10^-9Pa・m3/sec以下 ■バルブ全閉時リーク量：6.7×10^-11Pa・m3/sec以下 ■許容加熱温度：450℃(開閉いずれも可) ■ガスケットの寿命 ・約300回シール(室温使用時) ・約30回シール(ベーキングを伴う場合)(ガスケット交換可能) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■導入ガス流量の調節を必要とする真空装置 ■スパッタ装置、ガス分析装置 ■物理学実験・研究用装置 等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。