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汎用型 スロットルバルブ
弁体部が0-90°可変する事により 真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブ 【特徴】 ○ACXコントローラと併用する事により、半導体等のプロセスにおいて 高速応答・高再現性の真空圧力制御が得られる ○フランジの種類・大きさは各種ご用意 ○別途製作のご相談にも対応 ○最大差圧：1気圧 ○全閉モード ：１/10000F．S．コンダクタンス ○モータ：2相ステッピングモータ ○接ガス部材：SUS、テフロン、Ni等 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
自己加熱型 スロットルバルブ
フランジ及び弁体自体にヒーターを実装。 設定温度までバルブ・弁体を加熱でき 温度勾配もなく不純物付着をなくす事を可能にした、スロットルバルブ 【特徴】 ○高速応答、高再現性の真空圧力制御が可能 ○安全設計 ○低蒸気圧材料をプロセス中での使用にも最適 ○仕様に応じて、特注品も製作可能 ○ボアサイズ：3インチOD ○バルブボディ＆弁体材質：SUS316L ○ヒーター バルブボディ：400Ｗ ／ 弁体 ：60W ○使用最高温度 ：150℃（Maｘ180℃もご用意） ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
