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特別な制御回路は必要なし！被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止
『V-025SV』は、主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。 カットバルブとベントバルブの機能を装備。停電や誤操作などによる ポンプ油の逆流防止に役立ちます。 駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用します。従来の 自動バルブのような圧縮空気およびそのための配管は不要です。 (ポンプが動作していない状態ではバルブは開きません。) 【特長】 ■ポンプ油の逆流防止 ■圧縮空気およびその配管は不要 ■駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用 ■制御回路不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい
優れた許容加熱性！400℃または450℃までベークアウトが可能
『超高真空L型オールメタルバルブ』は、10^-8Pa以下まで使用できる 全金属製の製品です。 バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用。 全溶接構造で、真空にさらされる個所はオイルフリーで清浄です。また、 弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を 採用しています。 【特長】 ■超高真空領域用 ■Capturingシール構造 ■優れた許容加熱性 ■容易なガスケットの交換 ■並列配管接続可能(951-7148ミニメタルバルブを除く) ■容易なメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
