優れた許容加熱性！400℃または450℃までベークアウトが可能
『超高真空L型オールメタルバルブ』は、10^-8Pa以下まで使用できる 全金属製の製品です。 バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用。 全溶接構造で、真空にさらされる個所はオイルフリーで清浄です。また、 弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を 採用しています。 【特長】 ■超高真空領域用 ■Capturingシール構造 ■優れた許容加熱性 ■容易なガスケットの交換 ■並列配管接続可能(951-7148ミニメタルバルブを除く) ■容易なメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■951-7148 ■951-7150 ■951-7152 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。