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1次研磨工程で不織布パッドを！不織布パッドについてコラムでご紹介
1次研磨工程などで使用される研磨パッドは発泡ポリウレタンのみからなる 通称ウレタンパッドが主流ですが、それとは別に 不織布系研磨パッド(以下、不織布パッド)を使用するケースがあります。 不織布と呼ばれる短繊維を樹脂で固めて作られた研磨布のことを指し、 一般的な色味としては白いものが多いかと思います。 不織布パッドは、樹脂オンリーではないため研磨レートはウレタンパッド よりも出にくいですが、面精度の良さと扱いやすさにおいて利点があります。 ※コラムの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
基板の欠陥数低減の実現が可能！「表面欠陥数」の低減が確実に図れます
当製品は、株式会社FILWEL(旧カネボウ)製のファイナルポリッシング用 研磨パッドです。 微粒の酸化セリウム研磨材やコロイダルシリカとの組み合わせにより、 欠陥数の少ない高品質表面が得られます。 現在、シリーズ製品としては全部で4品種があり、「Asker-C硬度」は 「53」レベルへ。マスクの世界ではNGの「表面欠陥数」の低減が 確実に図れる製品です。 【ラインアップ】 ■N7512 ■N0012 ■N0092 ■N0192 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体関連装置向けのセラミック部品の高品質化に役立つ研磨パッドです！
当社が提案します研磨パッドは、セラミックスやガラス(HDD用、液晶用、 光学レンズ用)をはじめ化合物やシリコンなど様々な材料の研磨パッドとして 採用されており、お客様のご要望にお応えしております。 セラミックス研磨用にご提案の不織布パッドは厳格な品質管理プロセスにより しっかり管理された工場で生産されているため品質は安定しています。 不織布ベースは3種類(軟質、中質、硬質)と各種タイプ取り揃えております。 はじめて不織布をご検討のお客様には中質タイプでのご検討をお勧めいたします。 【不織布タイプラインアップ】 ■軟質 ■中質 ■硬質 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
