基板の欠陥数低減の実現が可能！「表面欠陥数」の低減が確実に図れます
当製品は、株式会社FILWEL(旧カネボウ)製のファイナルポリッシング用 研磨パッドです。 微粒の酸化セリウム研磨材やコロイダルシリカとの組み合わせにより、 欠陥数の少ない高品質表面が得られます。 現在、シリーズ製品としては全部で4品種があり、「Asker-C硬度」は 「53」レベルへ。マスクの世界ではNGの「表面欠陥数」の低減が 確実に図れる製品です。 【ラインアップ】 ■N7512 ■N0012 ■N0092 ■N0192 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
八千代マイクロサイエンスは1937年(昭和12年)の創業以来研削・研磨材の 専門商社であると同時に、研究開発部門による研削・研磨関連の製品開発 にも取り組み続けております。 技術情報サイト「研削・研磨．COM」「凝集剤.COM」 の 運営も行っております。ぜひ一度ご覧ください。