ヒータ(sic) - メーカー・企業と製品の一覧

ホットプレートユニット

精密温調、クリーンルーム製造。次世代半導体を支えるヒーター。

マイカヒーターをアルミプレートで挟み込んだ構造のヒーターです。 クラス10、000のクリーンルーム内で製造されており、均一な温度分布を実現しています。 主に半導体製造装置内でのウエハレジスト塗布・乾燥工程に使用されています。 【材質規格】 ■材質：AL ■材質：SUS ■材質：SIC ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 企業：株式会社サカエ 鬼石工場
• 価格：応相談

• 加熱装置
• その他ヒータ
• その他半導体製造装置