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フィルタ(性能) - メーカー・企業と製品の一覧

フィルタの製品一覧

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インライン・ガスフィルター CEPURE「より高いガス置換特性」

圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルターに求められる特性面も優れています!高純度アルミナを使用

クアーズテック社のインライン・ガスフィルター『CEPURE』に採用したエレメントは、耐食性に優れた99.9%以上の高純度アルミナで、均一にコントロールされた2層もしくは3層からなる微細な細孔を有しています。 幾何学的に圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性などガスフィルターに求められる特性面においても非常に優れており、理想的なフィルターメディアです。 【特徴】  ・優れたガス置換特性  ・高耐食性 【仕様】  材料:アルミナ多孔体(エレメント部)/SUS/ニッケル/PTFE 【用途】  各種半導体プロセス用インラインガスフィルター ※詳しくはお問い合わせください

  • 2_CEPRE_STM&SPF_30%.jpg
  • 3_CEPRE_TM_30%.jpg
  • 4_CEPRE_STM_30%.jpg
  • その他ヒータ

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真空破壊用ブレイクフィルター「真空装置のパーティクルを低減」

真空装置のスループット向上、パーティクルの低減・防止にお試しください!

ブレイクフィルターは、セラミック多孔体のもつ非常に微細な細孔を利用し、圧力バッファー効果を利用した真空破壊用の高性能ディフューザーです。 【特徴】 ■スループットの向上  ロードロック室の窒素ガス吹き出し口にブレイクフィルターを取り付けることにより、スローベントが不要になり、スループットの向上が図れます。 ■パーティクルの舞い上がり防止  パーティクルの低減にも優れた効果を発揮し、突発パーティクルの防止にも多大な効果があります ■ベント時間短縮 ■高耐食性 ※詳しくはお問い合わせください

  • その他半導体

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