真空装置のスループット向上、パーティクルの低減・防止にお試しください！
ブレイクフィルターは、セラミック多孔体のもつ非常に微細な細孔を利用し、圧力バッファー効果を利用した真空破壊用の高性能ディフューザーです。 【特徴】 ■スループットの向上 ロードロック室の窒素ガス吹き出し口にブレイクフィルターを取り付けることにより、スローベントが不要になり、スループットの向上が図れます。 ■パーティクルの舞い上がり防止 パーティクルの低減にも優れた効果を発揮し、突発パーティクルの防止にも多大な効果があります ■ベント時間短縮 ■高耐食性 ※詳しくはお問い合わせください
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基本情報
クアーズテック株式会社と東京エレクトロン株式会社との共同開発により製品化されたブレイクフィルターは、セラミック多孔体のもつ非常に微細な細孔を利用し、圧力バッファー効果を利用した真空破壊用の高性能ディフューザーです。 従来、ロードロック室の真空破壊にはパーティクルの舞い上がりを防ぐため窒素ガスをゆっくり導入するスローベントが用いられてきました。 ロードロック室の窒素ガス吹き出し口にブレイクフィルターを取り付けることにより、そのようなスローベントが不要になり、スループットの向上が図れます。 同時に、パーティクルの低減にも優れた効果を発揮し、突発パーティクルの防止にも多大な効果があります。また、スローベントとの併用で、より大きなパーティクル低減効果を期待することも可能です。 【仕様】 材料: アルミナ多孔体／シリカ多孔体 ※詳しくはお問い合わせください
価格帯
納期
用途／実績例
真空チャンバー用ディフューザー
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企業情報
1930年（昭和5年）に輸出入の専門商社として発足し2020年で創立90周年を迎え、渡辺商行グループの更なる発展に全力で取り組んでいるところでございます。 1960年代半ばより、半導体業界に対しケイ素(Si)関連製品を販売する方針のもと、石英加工品、シリコーンゴム成形品、洗浄装置などの自社製品を製造販売を開始いたしました。 モノづくり商社として、質の高い製品・サービスを提供することにより、IT社会の成長とともに成長してまいりました。 今後とも株式会社渡辺商行を中核とするグループ各社の社員が、毎日活き活きと働き、職場全体が学びの組織となる会社づくりを目指します。 そして、社会の真のニーズに応える強い意志を持ってこれからも日々あらゆる事業に邁進していく所存です。 今後とも益々のご支援とご愛顧を賜りますようお願い申し上げます。
