ファンフィルターユニット（FFU）
筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。
貴社製造装置のご要望に応じた特注対応のFFUがご提案できます（※1)。 何なりとご要望をお聴かせください。 【主な特注可能な仕様】 1.FFU外形サイズの自由度 貴社筐体とのマッチングを考慮し、必要風量に応じたファンモータを 組み合わせることで最適なFFUを提供いたします。 2.各種フイルタの搭載が可能 HEPA、ULPA、ボロン対応、低有機ガス対応の他、酸/アルカリ/有機ガス 除去用のケミカルフイルタとの組み合わせも可能です。 3.チャンバー内差圧取出し用のポート増設 4.CEマーキング対応品もあります（※2) ※1) 仕様上で一部ご要望を満足できない内容もございます。 ※2) CEマーキングが可能な特注機種には、一部制限がございます。 ご不明点なり詳細は、弊社窓口までお問い合わせをおねがいします。
- 企業：トーアメック株式会社
- 価格：応相談
