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ファンフィルターユニット(FFU)

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最終更新日:2023年11月14日

トーアメック株式会社
トーアメック株式会社
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筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。

貴社製造装置のご要望に応じた特注対応のFFUがご提案できます(※1)。 何なりとご要望をお聴かせください。 【主な特注可能な仕様】 1.FFU外形サイズの自由度 貴社筐体とのマッチングを考慮し、必要風量に応じたファンモータを 組み合わせることで最適なFFUを提供いたします。 2.各種フイルタの搭載が可能  HEPA、ULPA、ボロン対応、低有機ガス対応の他、酸/アルカリ/有機ガス  除去用のケミカルフイルタとの組み合わせも可能です。 3.チャンバー内差圧取出し用のポート増設 4.CEマーキング対応品もあります(※2)   ※1) 仕様上で一部ご要望を満足できない内容もございます。 ※2) CEマーキングが可能な特注機種には、一部制限がございます。    ご不明点なり詳細は、弊社窓口までお問い合わせをおねがいします。

    酸化/拡散装置半導体検査/試験装置その他クリーンルーム用機器・設備
image_01.png

ファンフィルターユニット(FFU)

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  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/toamec/product/

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基本情報

【ラインアップ】 ■DCブラシレスモーター搭載可変風量タイプ ■ACモーター搭載単一風量タイプ ■ACモーター搭載小形タイプ ■特注仕様  1.施工性向上(ノンシールモデル)   ・フィルターを内部に落とし込む事で筐体の出っ張りを80mmに!  2.製品外形寸法、取付方法変更    ・製品外形寸法は、短辺長辺共400mm以上であれば製作可能 3.フイルタ仕様の変更   ・PTFE、ケミカルフイルター等各種フイルターに対応します  4.外装ステンレス仕様  5.電源仕様変更 【DCブラシレスモーター搭載のみ対応】  1.操作部外部取り出しモデル  2.集中コントローラー対応  3.CEマーキングの対応が可能(CE対応モデル)  ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

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納期

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用途/実績例

【用途】 1.半導体製造装置・液晶製造装置   2.クリーンルーム・クリーブース・クリーンベンチ 3.医療・医薬関連設備 4.食品・バイオ関連設備 5.精密機器・光学機器関連設備  etc...

詳細情報

  • DCブラシレスモーター搭載可変風量モデル1.png

    DCブラシレスモーター搭載可変風量モデル □400mm *400mm以上の異形寸法対応可能です。

  • DCブラシレスモーター搭載可変風量モデル2.png

    DCブラシレスモーター搭載可変風量モデル □610mm *400mm以上の異形寸法対応可能です。

  • ノンシール.jpg

    ノンシールタイプ取り付けイメージ 筐体内にフィルターを落とし込んで筐体外は80mmの厚さで取り付け可能!

  • ノンシールタイプ外観.png

    ノンシールタイプ外観 外形が標準品より30mm大きくなります。

  • 吸込み口スペース.png

    吸込み口スペース DCブラシレスモータ搭載タイプで30mm以上 ACモータ搭載タイプで50mm以上確保願います。

  • DCブラシレスモーター搭載可変風量CE対応モデル.png

    DCブラシレスモーター搭載可変風量CE対応モデル ■充実した電源対応:DC入力タイプはDC36V/24Vに対応          AC入力タイプでは単相100~200V/200~240V ■各種特注仕様でもCEマーキングの対応が可能 ・ 製品外径寸法の変更 ・ フィルター仕様の変更 ULPA、PTFEフィルター仕様にも対応 ・ 操作部外部取り出しタイプへの変更

  • ステンレス仕様.png

    ステンレス対応品 お問い合わせください。

  • 集中コントローラ.png

    集中コントローラー ■最大18台まで運転可能  集中コントローラー(6台)と増設ユニット2台(12台)

  • ケミカルフィルター2.png

    特殊フィルター対応 PTFE,ケミカルフィルター等に対応致します。

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FFU(フアンフィルターユニット)

FFU(フアンフィルターユニット)

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当社は1951年の創業以来、多くの取引先様からのご支援を頂き、仲間と共にここまで歩んで来る事が出来ました。心より感謝申し上げます。 現在、世の中の変化は年々スピードを増し、先の予測が難しい時代となっています。それは私達の関わる産業界も同様であり、従来のビジネスモデルを変革させていく事が求められています。そのような中、新たに企業理念・ビジョンを策定し私達の想いや進むべき道を明確にしました。 デジタル化がさらに進む未来だからこそ、技術の活用だけでなく私達は人と人の繋がりやそのチカラを大切にしていきます。そして個人では成し得ない大きな成果や豊かな社会の実現に貢献してまいります。 また、変化から生まれる課題をビジネスチャンスと捉え新たな価値の創造にチャレンジしてまいります。エコアクション21やエコ関連事業の取組みによるSDGsへの貢献を通して、現在のみならず未来の社会に対して、企業が果たす責任を意識した取り組みも忘れません。 80周年、100周年、そしてその先も、誠実さを胸にモノづくりに携わる全ての人を笑顔にできるよう、仲間と共に進んでまいります。

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