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ブースター×有限会社テク - 企業1社の製品一覧

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LN2フローUHVブースター『CTH40(WT)』

UHVシステムへのサンプル挿入の手間のかかる待ち時間短縮が可能なデバイス!

『CTH40(WT)』は、より迅速で効率的な作業を実現するヒーターコイル 及び温度センサーが搭載されたLN2フローUHVブースターです。 LN2フローバージョンのコールドトラップでターボ分子ポンプと 組み合わせてUHVシステムのロードロック又は小さな搬送用チャンバー等 に組み込んでクライオポンプのように使うことができます。 【特長】 ■サンプル挿入時の待ち時間を短縮 ■排気時間が大幅に短縮され、付加的なベークアウトが不要 ■フローバージョンは、加圧液体窒素デュワーまたは熱交換器と  窒素ガスを用いた冷却装置に取付可能 ■内蔵のPT100センサーを介して温度を常時監視可能 ■VSCT40コンパクトドッキングチャンバーに組み込んで使用可能   ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • 圧力制御
  • 真空ポンプ

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