【課題解決事例】汚れが付着しても高反射を維持するプリズムをご提案
光学部品にもナノレベルの精度を！表面状態の影響を受けずに高い反射率を実現！
取引先の半導体メーカー様から、集積回路製造装置のセンサーに使われる プリズムのサンプル解析を依頼されました。当社で任意に油脂（汚れ）を 付着させて解析を行なったところ、汚れにより、全反射条件が崩れ、光量が 損失することが判明しました。 万が一、汚れが付着すれば、検知精度が下がって工程不良を引き起こす要因と なりうるため、早急な改善が急務でした。 そこで当社は、万が一、汚れが付着しても高反射を維持する高反射ミラーを 付与したプリズム「誘導体多層膜ミラー付きプリズム」をご提案。 半導体メーカー様から高い評価をいただき、すぐに採用となりました。 【事例概要】 ■課題：反射面の汚れが影響し、反射率の低下を引き起こす ■ソリューション：汚れが付着しても高い反射率をキープし、 精密な半導体製造の品質保持に貢献 ■ご紹介製品：プリズム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：東海光学株式会社
- 価格：応相談
