Revolution セミオートウェットプロセッサー
省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサー
RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、 プロセスコントロールの操作性をアップさせました。 省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。 Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。 【省スペースな回転式ロボット】 ■ 2-5ポジション、2軸設計 ■ プロセスタンク複数搭載可 ■ 150～300mmウェハ対応 ■ タンクカバー（オプション ■ 圧力式または光学式タンクレベルモニタリング 【その他】 ■ エッチング、剥離、洗浄の多彩なアプリケーション ■ 分かりやすいレシピ構成 ■ 薬品添加、注入、充填オプション ■ 酸、溶解モデル ■ タンク5つまで搭載可 ■ マランゴニ乾燥組み込み可 【専用ソフトIDX Flexwareで歩留まりアップ】 ■ 高い柔軟性 ■ 高い自由度 ■ 正確性 ■ SECS/GEM準拠 ■ タッチスクリーンUI ■ 複数ロット・レシピ同時進行
- 企業：株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
- 価格：応相談
