省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサー
RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、 プロセスコントロールの操作性をアップさせました。 省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。 Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。 【省スペースな回転式ロボット】 ■ 2-5ポジション、2軸設計 ■ プロセスタンク複数搭載可 ■ 150～300mmウェハ対応 ■ タンクカバー（オプション ■ 圧力式または光学式タンクレベルモニタリング 【その他】 ■ エッチング、剥離、洗浄の多彩なアプリケーション ■ 分かりやすいレシピ構成 ■ 薬品添加、注入、充填オプション ■ 酸、溶解モデル ■ タンク5つまで搭載可 ■ マランゴニ乾燥組み込み可 【専用ソフトIDX Flexwareで歩留まりアップ】 ■ 高い柔軟性 ■ 高い自由度 ■ 正確性 ■ SECS/GEM準拠 ■ タッチスクリーンUI ■ 複数ロット・レシピ同時進行
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半導体製造装置やその部品について、新品から中古品までお客様のニーズに合わせてご提案しております。海外メーカーの正規販売代理店として輸入販売している他、保証・アフターサービスのあるリファービッシュ品も提供。また、過剰装置の買取お及び移設・撤去も対応可能です。スタッフが在住しているため、アジアを中心とした海外でのサポートもご相談ください。経験を駆使して、お客様の生産業務を総合的にサポートいたします。