周辺機器 真空プローバーシステム
お客様のニーズに応えて新しい真空システムの誕生です!
当社では、お客様のニーズに応えて新しい真空システム 『周辺機器 真空プローバーシステム』の設計・製造・販売を行っております。 【特徴】 ○真空チャンバー部分は内寸φ150(内径)x90mm(高さ)と 大き目な設計のため冷却、加熱機構の他、研究用途に応じた対応が可能 ○本体寸法:420mm(幅)x420mm(奥行き)x545mm(高さ) ○チャンバー内寸:φ150(内径)x90mm(高さ) ○アルミニウム製扉:覗き窓(有効可視径:Φ96mm) ○外部フィードスルー用ポート(NW40):3ポート ○真空排気ポート(NW40):1ポート ○プローブ移動機構:X-Y-Zステージ 移動量±5mm 目盛り付き移動シール部 真空ベローズ ○プローブ先端金具:先端部首振り可能(ねじ固定式) ○探針:タングステン針(先端25μm) ○試料台寸法:φ70mm接地型 ○最大基板:口30mm ○高真空バルブ:NW40アングルバルブ
- 企業:株式会社エイエルエステクノロジー
- 価格:応相談