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ポリッシング装置×日本エンギス株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

ポリッシング装置の製品一覧

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“Trinity-Yシリーズ” EJD-6BY

あらゆるスラリーに適合し、難削材の両面同時研磨に最適です。

“Trinity-Y” シリーズから6Bサイズのコンパクトで多機能なCMP対応両面ポリッシング装置が誕生しました。 フルステンレス防塵カバーと細部に渡り徹底的に耐腐食性材料を使用し製作しているため、あらゆるスラリーに適合し、難削材の両面同時研磨に最適です。 また他のTrinity-Yと組み合わせることで省スペース化を実現し、無駄のない高機能な加工システムを構築することができます。 【仕様】 ○ポリッシュ定盤 外径φ386×内径φ148mm ○定盤回転数 最大 10~60r.p.m. 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • ウエハ加工/研磨装置

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