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磁気軸受ユニットを新規設計・低振動化を実現！
『STP-iX457シリーズ』は、コントロールユニットの小型化を図り、コンパクト にポンプ下に搭載した、コントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 超小型電子部品を採用し、コントロールユニットの高さ寸法をコンパクトに収め、 ポンプ下に配置しました。既存モデルではポンプ横についていたコントロール ユニットをポンプ下に置くことでインストール性が格段に向上し、ポンプ重心の 不均衡が解消されました。 【特長】 ■インストール性・省スペースを重視した設計 ■最大消費電力 240W(既存製品から20％削減を実現) ■供給電源 DC24V ■全翼ブレード設計による優れた軽ガス圧縮比性能 ■各種規格に対応:CEマーク、UL規格、SEMI S2、欧州RoHS指令 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高/超高真空を実現するターボ分子ポンプ
nEXTターボ分子／複合分子ポンプおよびEXCコントローラは、最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高／超高真空を実現します。 ターボ分子ポンプ(TMP)は、マルチステージの軸流タービンであり、高速回転するブレードが排気方向へ移動するガス分子の確率を高めることによって圧縮をもたらします。 複合分子ポンプ(CMP)は、ブレードが付属するターボ分子ステージと分子ドラッグステージを同一ロータ上で合体させるというコンセプトを基礎にしています。 【特長】 [ターボ分子ポンプ] ○分子の流れ状態に合わせて最適化される [複合分子ポンプ] ○フォアラインの高臨界圧（標準で最大1、000Pa） ○より小型の背圧ポンプまたはダイヤフラムポンプの使用が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
Edwards nXDSシリーズはドライ真空ポンプの新時代を切り拓きます。
真空ポンプのリーディングカンパニーであるEdwardsは、新しいnXDSドライスクロールポンプを開発しました。 優れたポンプ性能と真空性能を備え、最先端の設計を取り入れたEdwards nXDSシリーズは、クラス最高レベルのポンプです。 「nXDS」は、他のポンプと比べておよそ1/20の静音性を実現しています。 インテリジェントな制御機能と最長5年の整備間隔により、所有コストを削減することができ、現在の最新技術のニーズを満たすのに最適な小型ドライ ポンプです。 【特長】 ○高度なスクロール方式とチップシール技術 →クラス最高の真空性能を実現 ○52dB(A)未満の静音性 →環境への影響を最小限に抑えることが可能 ○簡単操作で使いやすいインテリジェントな制御機能 ○完全密封型により潤滑油汚染のない真空環境を実現 ○6、10、15、および 20m?h??を準備 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
省エネルギーかつコンパクトなデザインを実現。磁気軸受式ターボポンプ
『STP-iS2207』は、産業をリードする性能を備え、省エネルギー技術を一体型 プラットフォームに搭載した、完全一体型磁気軸受式ターボポンプです。 新規ローター設計によりプラットフォームの小型化に成功し、省エネルギー かつコンパクトなデザインを実現しました。 また、腐食性ガスにも対応可能です。 【特長】 ■完全一体型設計 ■防水・防塵に配慮した設計 ■冷却水温度35度まで対応 ■最大流量：3200 sccm N2/ 1000 sccm Ar ■省エネルギー設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ポンプの揺れを検知し、瞬時に自動で磁気軸受剛性を切替！
『STP-iXU457』は、超低振動性能とMB剛性性能向上の両立を達成し、コントロール ユニットの小型化を図り、コンパクトにポンプ下に搭載したコントローラ 一体型ターボ分子ポンプです。 １KHzから2KHzでの周波数帯の最大振動ピークを抑制、また、ピーク振動のみ でなくベース振動の低減を図っています。 【特長】 ■低振動(1kHz～2kHz間の振動ピークを抑制) ■磁気軸受/自動剛性切替機能 ■供給電源 DC24V ■オプション電源でAC100-200Vも利用可能 ■各種規格に対応:CEマーク、UL規格、SEMI S2、欧州RoHS指令 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
