更新日： 集計期間:2025年05月14日～2025年06月10日
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ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善！真空引き時間も大幅に短縮できます！！
RICOR社製MicroStarはスターリングクーラー方式の真空補助ポンプです。ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善し真空引き時間も大幅に短縮できます。GMタイプのクライオポンプと異なり、別置きの大型ヘリウムコンプレッサやヘリウムラインが必要なく、コンパクトで低消費電力。半導体プロセス装置のロードロックチャンバー、トランスファーチャンバーやプロセスチャンバー、真空蒸着装置の真空補助ポンプとして最適です。
ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です！
【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間 ■ 高効率 省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム ■ コンパクト 非常に小型で軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超高・極高真空の発生はNEGの時代！ビームを通せるNEGポンプ
『ニップルNEGポンプ』は、チャンバーの壁にピル状（φ10×t3）NEGを タイルの様に貼りめぐらした新しいタイプのNEGポンプです。 チャンバー内のデッドスペースにシュラウド形を配置すれば、システムは 極高真空環境に早変わりします。 また、1000L/sを超える設計が容易なほか、ステンレス真空チャンバーに 対応することができます。 【特長】 ■無振動、無電力、無荷電粒子ノイズ ■自由設計、取付方向自由 ■NEG：St707タイプZrVFe合金 ■ピル状NEGを二重金網中に積層 ■10^-10Pa以下のXHV発生が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低真空の新しいベンチマーク
パーティクルや蒸気を含んだガスの処理に適した堅牢なポンプ。 ステンレス製のクローとコーティングされた真空チャンバーの耐腐食性に優れた設計。 メンテナンス頻度が少なく、またハウジングとクローは現場で簡単に取り外して洗浄が可能です。
メカニカルブースターポンプ
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップ （宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応） ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で 圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。
非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。
ゲッターポンプ Insi torr「Fast Pump」は、サエスグループが開発した非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。 このポンプは、アプライドマテリアルズ製PVD、アルミニウムスパッターのために開発されました。 このポンプの開発によってチャンバーがベントしてから復帰して操業に戻るまでの時間が大幅に短縮されます。 【特徴】 ○インシトールファーストポンプをチャンバー内に設置することで ダウンタイムを11時間から7時間に短縮される ○既存設備に改造取付が可能 ○フットプリントに影響を与えず、アップグレーディングに威力を発揮 ○パーティクル特性やフィルム特性に何らネガティブな影響を与えない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
クリーン、ドライ環境に最適なドライポンプ
クリーン、ドライ環境に最適なドライポンプです。 圧縮には潤滑油、シール油あるいはギアオイルを全く使用しない ドライポンプです。 ◆ドライポンプの特徴◆ ・高効率 スクロール技術により、低い消費電力で高い到達真空、 排気能力を達成 空冷式で低ランニングコスト ・メンテナンス 接触圧縮で、部品は長寿命 ・高い信頼性 シンプルな構造により、取扱いが容易な真空ポンプ ・低騒音 ・コンパクト設計で軽量かつ移動が容易 ・パージの窒素は不要
創業130年のドライ真空ポンプの老舗 Beckerベッカーのスクリュー式ドライ真空ポンプ メンテナンスフリーでランニングコスト低
創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー スクリュー式真空ポンプ VADS１５００ ドライ・オイルフリー、メンテナンスフリーのスクリュー式真空ポンプ しかも1420?/hの大風量！最大真空度 200 mbar 大きな設備の真空チャンバーや一括管理のセントラルシステムなどにご使用頂いております。 ベッカーエアーテクノ（株）はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点（東京・大阪・つくば・広島）日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。
業界トップクラスの基本性能
•コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなど一般産業向け •高スループット •10m3までの大型チャンバーの排気が可能（オプション） •耐腐食ガス対応モデル（Gバージョン）
小型で軽量、低騒音・低振動のドライ真空ポンプ。クリーンな真空を生成できます。
低騒音・低振動のため研究開発や分析機器での使用に最適なマルチルーツ型の小型ドライ真空ポンプ。先端のテクノロジーを使用した革新的なドライ真空ポンプです。ターボ分子ポンプのバックポンプとしての使用にも適しています。 非接触ローターを採用しており、パーティクルが発生しません。また、排気チャンバーはオイルフリーで、クリーンな真空を生成できます。 約5年間メンテナンス不要です。
搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適。効率的かつクリーンなソリューション。
搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適な、効率的かつクリーンなソリューションとなるMINK MV シリーズ真空ポンプです。 【特長】 ■ エジェクターを使った方式と比較し省電力 圧縮空気の必要なエジェクター方式と比較し、真空ポンプは高効率。 ３～7割の省エネになるケースもあります！ ■ 排気がクリーン 圧縮チャンバー内は完全にドライ。吸引したガスが潤滑剤で汚染 されたり、汚染されたガスが周囲に排 気されることがありません。 ■ フレキシブル 可変速ドライブ （VSD）搭載。お客様用途に合わせ柔軟に適応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高品質な真空をお届けします。
多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種などアルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。
よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域
必要不可欠な「超高真空」 半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域で実現することが、先端科学技術の成果をより大きなものへと導いてくれるのです。 高い排気速度とクリーンな真空品質 豊富な空調技術から開発した独自のヘリウム圧縮機とソルベイサイクル冷凍方式によるクライオポンプユニットを発売。高い排気速度とクリーンな真空品質、なにより、その信頼性と完成された機能が、さまざまな現場で評価されてきました。生産性の向上と、効率化を求める二ーズに応えて、ラインアップを追加し、シリーズ別分類によって、 ますます充実したMarathon CPシリーズ。品質で語る真空が、ここにあります。
ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低騒音・低振動で快適な作業環境を実現
『ECODRY plus』は会話やエアコンの音よりも静かな小型ドライポンプです。 サイレンサーを内蔵しており、運転音はわずか52dB未満と超低騒音を実現。 振動も少なく、作業に集中できる環境づくりに貢献します。 パーティクルが排気チャンバーに侵入せずクリーンな真空を確保するほか、 オイル・シール交換といったメンテナンスが不要。デモ機を用意しています。 【特長】 ■研究所など静かでクリーンな環境が求められる空間に好適 ■水蒸気排出量の許容値が高い ■軽量・コンパクト ■キャスター付きで移動が簡単 ※「PDFダウンロード」から製品が掲載された資料をご覧いただけます。
