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最終更新日:2020年11月16日

株式会社ヤチダ
株式会社ヤチダ
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超高・極高真空の発生はNEGの時代!ビームを通せるNEGポンプ

『ニップルNEGポンプ』は、チャンバーの壁にピル状(φ10×t3)NEGを タイルの様に貼りめぐらした新しいタイプのNEGポンプです。 チャンバー内のデッドスペースにシュラウド形を配置すれば、システムは 極高真空環境に早変わりします。 また、1000L/sを超える設計が容易なほか、ステンレス真空チャンバーに 対応することができます。 【特長】 ■無振動、無電力、無荷電粒子ノイズ ■自由設計、取付方向自由 ■NEG:St707タイプZrVFe合金 ■ピル状NEGを二重金網中に積層 ■10^-10Pa以下のXHV発生が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ニップルNEGポンプ

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【その他の特長】 ■ステンレス真空チャンバーに対応 ■0.2%BeCuチャンバーでは効果倍増 ■1000L/sを超える設計が容易 ■活性化:450℃×30〜40min ■安価 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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新潟県加茂市で真空部品・機器を中心とした高速加工、5軸加工、電子ビーム溶接、Master CAM、リークテスト、ステンレス加工、細穴加工などの高い技術力と創造力でオリジナリティあふれる製品を生み出しています。

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