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運転中に外部負荷が締切状態になってもリリーフ弁の作動による内部循環が可能！各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに
『PU201A』は、工場の純水供給ラインの圧力が不足している場合や、建物で階上への供給で圧力が不足する場合に使用する昇圧ユニットです。 運転中に外部負荷が締切状態になってもリリーフ弁の作動による内部循環が可能です。 【特長】 ■水圧の低い純水を昇圧して装置に供給 ■外部締切運転時リリーフ弁により内部循環自動切換え ■循環水温度上昇検知（作動温度 50℃） ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに
『PU300A』は、工場の純水供給ラインの圧力が不足している場合や、建物で階上への供給で圧力が不足する場合に使用する昇圧ユニットです。 運転中に外部負荷が締切状態になってもリリーフ弁の作動による内部循環が可能です。 【特長】 ■水圧の低い純水を昇圧して装置に供給 ■外部締切運転時リリーフ弁により内部循環自動切換え ■循環水温度上昇検知（作動温度 50℃） ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
独立した圧力の異なる2出力を同時に吐出できる高圧ポンプユニット ＣＳＰ等のダイシングとバリ取りを1台で行うことができます。
電動式のプランジャポンプを用いたポンプユニットです。 吐出圧力、流量についてはお客様のご要望に合わせて調整いたしますのでご相談ください。 【特長】 ■ポンプ1台で関連する複数の用途に対応 ■スケルトン筐体でお客様の装置に組込容易 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
エア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに好適！低圧から高圧まで調整可能
『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユニット（W194×H190×D490） ■エア供給用電磁弁、エアレギュレーター、圧力計を標準内蔵 ■オプションで純水用電磁弁、エア駆動用吐出弁の内蔵、NMP対応シール材を選択可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
水滴・水蒸気を含む気体の吸引に適した水封式真空ポンプユニット！
『真空ポンプユニット P94』は、加工対象物を薬液をかけながら切断する際に、対象物を保持する真空源として使用するユニットです。 ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の真空発生装置として使用され、水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成されています。 【特長】 ■ウエット処理装置の真空チャック用の水封式真空ポンプにユニット ■水滴・水蒸気を含んだ気体の吸引に好適 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。
【特長】 ■インバータ内蔵により流量特性を可変可能 ■外部信号により運転、停止が可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに
『UPPU-10LR』は、工場の超純水供給ラインの圧力が不足している場合に使用する昇圧ユニットです。 昇圧はエア駆動ベローズポンプにより行い、圧力を調整するためのエアレギュレータや吐出圧力モニターを有します。 【特長】 ■水圧の低い純水を昇圧して装置に供給 ■エア駆動ベローズポンプを使用した超純水用のモデル ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
