RP3500SA N2パージシステムスタンドアロン
RP3500SA N2パージシステムスタンドアロン
全てのFOUPに対応した SEMI準拠のN2パージロードポート 【特徴】 ○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応 ○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入 フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射） ○多量のガスを一挙に流し、置換時間及びガス総流量を大幅に改善 ○SEMI規格に基本的に準じている ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：株式会社ライト製作所 本社
- 価格：応相談
