RP3500SA N2パージシステムスタンドアロン
全てのFOUPに対応した SEMI準拠のN2パージロードポート 【特徴】 ○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応 ○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入 フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射） ○多量のガスを一挙に流し、置換時間及びガス総流量を大幅に改善 ○SEMI規格に基本的に準じている ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報
全てのFOUPに対応した SEMI準拠のN2パージロードポート 【特徴】 ○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応 ○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入 フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射） ○多量のガスを一挙に流し、置換時間及びガス総流量を大幅に改善 ○SEMI規格に基本的に準じている ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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企業情報
ライト製作所はメカトロニクス機器を設計・開発から部品切削加工、そして組立・調整を一貫して行なう国内でも数少ないメカトロニクス製造受託メーカーとして、主に医療機器、半導体製造装置関連機器、光学機器、液晶基板製造装置等の産業分野に貢献しております。 メカトロニクスのプロフェッショナルとしては、日本を代表するシステム製品メーカー様向けの製造受託事業、およびライトンブランドによる眼科眼鏡機器や半導体搬送装置における自社ブランド事業を展開しています。 また、モノづくり企業として培ったノウハウを活かし、両事業に関係する量産試作品製作でお客様のニーズにお応えします。
