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ユーザーの様々な目的・用途に対応出来る様、中空構造のXYZ機構を本体に採用！
『KSM-114-50Z/150Z』は、X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせ、 超高真空領域まで使用出来るセミ・マニピュレーターです。 Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や 微調整などに使用出来ます。 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的な チルト機構としても使用可能。 蒸着装置、MBE装置等、超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が 大気側より行えます。 【特長】 ■超高真空領域まで使用出来る ■X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用 ■1回転当たりの移動量は各々0.5mm ■接続フランジがICF-152のタイプの場合、接続フランジ上部に設置された 6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行うことが可能！
『KSM-152-50Z/150Z』は、ユーザー様の様々な目的・用途に対応出来る様、 中空構造のXYZ機構を本体としたセミ・マニピュレーターです。 X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりの 移動量は各々0.5mmとなります。Z軸には側面に目盛りスケールを 設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。 また、接続フランジがICF-152のタイプをご利用の場合、接続フランジ上部に 設置された6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の 導入が行えます。 【特長】 ■超高真空領域まで使用可能 ■X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせている ■本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの 簡易的なチルト機構としても使用可能 ■蒸着装置、MBE装置等、超高真空領域内での試料等の 移動・位置決め操作が大気側より行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超高真空領域まで使用可能！X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを採用！
『KSM-70-50Z』は、中空構造のXYZ機構を本体としたセミ・マニピュレーターです。 ベローズに工夫をこらしていることで、X軸・Y軸の動作に柔軟性を 持たせており、Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、 精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。 接続フランジがICF-152のタイプをの場合、接続フランジ上部に設置された 6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が行えます。 【特長】 ■超高真空領域まで使用出来る ■X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用 ■1回転当たりの移動量は各々0.5mm ■本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的な チルト機構としても使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超高精度5軸マニピュレーター
特徴 本機構「超高精度5軸マニピュレーター」は、極高真空領域対応型XYZR1R2軸方向移動機構です。高精度な機構を組み合わせることにより、真空中にある試料を精密かつ再現性良く移動・操作させることが可能です。 オプションであるサンプル加熱/冷却機構または、モーター駆動機構などを組み合わせることにより、研究開発目的に適した試料等の処理や移動・操作を御提案いたします。
