超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行うことが可能！
『KSM-152-50Z/150Z』は、ユーザー様の様々な目的・用途に対応出来る様、 中空構造のXYZ機構を本体としたセミ・マニピュレーターです。 X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりの 移動量は各々0.5mmとなります。Z軸には側面に目盛りスケールを 設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。 また、接続フランジがICF-152のタイプをご利用の場合、接続フランジ上部に 設置された6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の 導入が行えます。 【特長】 ■超高真空領域まで使用可能 ■X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせている ■本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの 簡易的なチルト機構としても使用可能 ■蒸着装置、MBE装置等、超高真空領域内での試料等の 移動・位置決め操作が大気側より行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ＜KSM-152-50Z＞ ■移動距離 ・Z軸：0～50mm ・X軸：±12.5mm ・Y軸：±12.5mm ＜共通仕様＞ ■許容リーク量：≦1.33×10-11Pa・m3/sec ■許容加熱温度：≦200℃ ■移動精度 ・XY軸：0.01mm以下 ・Z軸：0.05mm以下 ■位置決め目盛 ・Scale XY軸：0.001mm以下 ・Z軸：0.05mm以下 ■上部接続フランジ：ICF-70FT ■下部接続フランジ：ICF-152FH ■導入用ポート：ICF34（6ヶ所） ■真空シール稼働部：溶接ベローズSUS-316 ■重量：9.0kg(50Z)、9.0kg(150Z) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
50万円 ~ 100万円
納期
用途／実績例
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企業情報
北野精機の歴史は研究開発用精密機器の提供を通して、 常に最先端の研究分野に貢献し続けてきた軌跡でもあります。 1958年（昭和33年）11月 精密機器の設計・製造・販売会社として設立されて以来、 大学・官公庁の研究所をはじめ民間企業の基礎研究所に 向けた実験機器の開発・製造を手がけ、その優れた品質 と信頼性には高い評価をいただいています。 特に近年、新素材やナノテクノロジー、フラットパネル ディスプレー、高温超電導、太陽電池、原子力、宇宙開発 など産業分野に必要不可欠な超高真空・極低温技術に ついては、他社に先駆けていち早く取り組み、その実験 環境づくりに豊富な技術・ノウハウを蓄積し、高度な性能・ 機能を凝縮した機器の開発・提供に結び付けています。 北野精機では、つねにユーザーである研究者の方々と 密接に連携し、研究・開発目的を的確にサポートする 機器を設計・開発。 部品づくりから各種処理、組立、検査・テスト、装置立ち 上げ、アフターサポートまでの一貫した体制で、高品質 の製品と良質な研究開発の実験環境を提供しています。