レーザー・マーキング/リペアシステム マイクロポイント
既存の顕微鏡へ取付けて、微小レーザーマーキングや微小なレーザー加工ができます。
・既存顕微鏡へ取付可能。 ・あらゆる素材にマーキング。波長依存が少。 ・最小レーザースポット約0.3um。 ・透明体内部や、透明体を透過し下部の素材にマーキングも可能。 ・SEM、AFM、FIBの前処理としてターゲットマーキング。 自動ステージと専用ソフトウエアを組み合わせて、矩形や文字をマーキングすることも可能です。 また、KLAなどの欠陥検査装置の欠陥マップをレビューしながらマーキングも可能です。
- 企業：フォトニックインストゥルメンツ株式会社
- 価格：500万円 ~ 1000万円
