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InnoLas Semiconductor社はドイツのミュンヘンに本社、ウェーハマーキング装置をグローバルに提供し続けています。
IL2000は、～200mmまでのウェーハに対応可能で、高いスループットをお求めのお客様に最適な装置です。 イノラス社のウェーハマーキング装置は、２“～450mmまでのあらゆる材料のウェーハに、先進のレーザー技術を用いてユニークな識別コードを印字します。全製造工程でトレーサビリティを可能にします。さまざまなレーザーの種類やユニークなオプションにより、お客様のご要望やご用途にお応えします。
InnoLas社で開発されたウェーハマーキング用レーザー光源は、10年程度使い続けられる（実績値）低廉なランニングコストを実現。
マーキング可能なウェーハ素材： シリコン(Si)、ゲルマニウム(Ge)、サファイヤ(Al2O3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、ニオブ酸リチウム（LiNbO3）、ガリウム砒素8GaAs)、窒化ガリウム(GaN)、炭化シリコン(SiC)、リン酸インジウム(InP)、ガラス等、様々なウェーハ素材に対応する為、下記のレーザーをご用意しています。 ・UV(355nm)、グリーン(532nm)、IR(1064nm)、IR,炭酸ガス(10.6μm)をご用意しています。 オプション ・電動ビームエキスパンダー (MBE) : レシピのデーターに合わせてビーム 径、焦点位置等を調整。 ・消費電力等表示パネル (DCM) : ライン電源、ガルボ 電圧/温度、圧縮空気 圧等を一か所に集約して表示。 ・その他、ユーザーフレンドリーな多彩なオプションをご用意。
