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可視域の平均反射率は90%以上の「Alのみ」など、3種類をラインアップ
金属ミラーの代表的なものが『アルミミラー』です。 可視域の平均反射率は90%以上の「Alのみ」をはじめ、85%以上の 「Al + 保護膜（MgF2、SiO2、SiO）」や95%以上の「Al増反射」をご用意。 保護膜や機能性膜の追加などにより上記3種類が主となります。 【ラインアップ】 ■Alのみ ・紫外域から近赤外域まで用いられる ■Al + 保護膜（MgF2、SiO2、SiO） ・紫外域から近赤外域まで用いられる ■Al増反射 ・アルミニウムの上に誘電体多層膜をしており高い反射率が得られる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
適切なコートをご提案！ガラス加工の技術を活かした高精度な基板を用います
『誘電体ミラー』は、ミラー基材表面に誘電体（主として酸化物）を 多層にコートした製品です。 金属ミラーと比較した場合の特長としては、高い反射率を実現したり ハーフミラー・ホットミラー・コールドミラーなどのように 特定の波長域に対しての反射率を設計することが可能な点です。 ガラス加工の技術を活かした高精度な基板を用いる点は金属ミラー同様です。 【特長】 ■ミラー基材表面に誘電体（主として酸化物）を多層にコートしている ■高い反射率を実現 ■特定の波長域に対しての反射率を設計することが可能 ■用途や仕様に応じて適切なコートをご提案 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。
『バーミラー』は、主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。 バーミラーの加工精度がＸ・Ｙステージの性能に大きな影響を与えます。 材料は高純度合成石英、クリアセラムＺ等低熱膨張ガラスを使用しております。 【特長】 ○材質：クリアセラム、合成石英 ○L寸法：１００ｍｍ～８００ｍｍ超 ○面精度：数μｍ～λ／１０ ※素材、形状等詳細仕様につきましては、お気軽にご相談ください。
アルミ・金・銀・アルミナ・クロム・ニッケルなど多種多様な製品への対応が可能！
『金属ミラー』は、ミラー類のうち、基材表面に金属膜を蒸着した製品です。 当社のミラー類はガラス加工の技術を活かし、寸法・平行・平面 （面精度・面粗度）等を高精度に加工した製品となります。 蒸着膜の種類としては、アルミ（Al）・金（Au）・銀（Ag）・アルミナ （Al2O3）・クロム（Cr）・ニッケル（Ni）など多種多様な製品への対応が 可能。 ご希望される用途や光学特性、コストに応じて好適なものをご提案します。 【特長】 ■基材表面に金属膜を蒸着している ■寸法・平行・平面（面精度・面粗度）等を高精度に加工 ■蒸着膜の種類 ・アルミ・金・銀・アルミナ・クロム・ニッケルなど ■ご希望される用途や光学特性、コストに応じて好適なものをご提案 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
