主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。
『バーミラー』は、主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。 バーミラーの加工精度がＸ・Ｙステージの性能に大きな影響を与えます。 材料は高純度合成石英、クリアセラムＺ等低熱膨張ガラスを使用しております。 【特長】 ○材質：クリアセラム、合成石英 ○L寸法：１００ｍｍ～８００ｍｍ超 ○面精度：数μｍ～λ／１０ ※素材、形状等詳細仕様につきましては、お気軽にご相談ください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
価格情報
****** お気軽にお問い合わせください。
納期
※お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
詳細はお問い合わせください
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
カドミ光学工業では、合成石英、パイレックス、白板、ＢＫ７、水晶、クリアセラム等の材料を使用してレンズ、プリズム、石英平行平面基板、ウエッジ基板、ロッド、金属ミラー（Ａｌ、Ａｕ、Ａｇ）、誘電体ミラー、バーミラー、波長板、偏光解消板、石英セル、マイクロフローセル、真空セル、フライアイレンズ、異形加工品、ガラス管内外径研磨品等多種多様な光学部品を製作、販売しております。製作数量は試作単品から対応しております。