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静電チャックと制御電源の間に接続することで、静電チャックと対象物の状態を常時モニタリングすることが可能です。
クリエイティブテクノロジーの『吸着モニターユニット』は、静電容量を検出することで、静電チャックと対象物の吸着状態を常時モニタリングできるツールです。 静電チャックや電源の改造をすることなく、静電チャックと電源の間に接続するだけで、静電チャックにセンサ機能を付与することが可能です。 【特長】 ■対象物の吸着状態を常時モニタリング ■突発的な不具合の検出可能 ■取り付けが容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
4チャンネルまたは8チャンネルの切換機能あり！遠隔表示が可能です
『ENP-50U』は、ユニット形・電歪素子駆動用電源「ENP-150U/151U型」 の多チャンネル化に対応した出力電圧のモニターユニットです。 各チャンネルの出力電圧を選択してデジタルパネルメーターで表示。また DPMによる電圧の表示と同時に、モニター接栓から出力電圧の波形観測が できます。 「ENP-150U型」と同一サイズで、サブラックに収納することも可能です。 【特長】 ■出力電圧をDPMで表示 ■モニタ端子による波形の観測 ■ケースサイズは電源に統一 ■8チャンネルまで切換表示 ■遠隔表示が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
