静電チャックと制御電源の間に接続することで、静電チャックと対象物の状態を常時モニタリングすることが可能です。
クリエイティブテクノロジーの『吸着モニターユニット』は、静電容量を検出することで、静電チャックと対象物の吸着状態を常時モニタリングできるツールです。 静電チャックや電源の改造をすることなく、静電チャックと電源の間に接続するだけで、静電チャックにセンサ機能を付与することが可能です。 【特長】 ■対象物の吸着状態を常時モニタリング ■突発的な不具合の検出可能 ■取り付けが容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【吸着モニターユニットが推奨されるケース】 ■静電チャックの吸着状態を常時モニタリングしたい場合 ■静電チャックにセンサ機能を搭載したい場合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
価格帯
納期
用途／実績例
【適用例】 ■静電チャックの常時モニタリング ■突発的な不具合の検出 ■生産設備との容易な通信 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
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企業情報
1985年、脆性材料であるファインセラミックスの加工技術開発からクリエイティブテクノロジーはスタートしました。 1990年代には、その加工技術をコアとして、半導体製造装置向け静電チャックの開発に成功し、さらに2000年代前半には、それまで培ってきた静電チャックの開発製造技術をもとに静電チャックの再生事業を立ち上げ、世界中のお客様とのつながりを構築しました。 そして現在、私たちは半導体業界で利用されてきた技術をさまざまな形に進化させ、付加価値の高い静電吸着応用製品の開発に取り組んでいます。 クリエイティブテクノロジーは、モノとモノをくっつける技術で、あらゆる分野の省力化・IoT化に貢献していきます。 サンプルをお預かりできる場合は、弊社での吸着テストもおこなっております。まずはお気軽にご相談ください。