リソグラフィとは？
フォトレジストの塗布、露光、現象の3つのステップで構成されます。
リソグラフィとは、半導体製造においてウェハに回路パターンを描く 工程のことです。 この工程は、半導体の性能やコストに大きな影響を与えるため、 常に技術革新が求められています。 現在主流となっているリソグラフィ技術は、「液浸式アーゴンフッ素(ArF) エキシマレーザー」です。 【基本原理】 ■フォトレジストの塗布 ■露光 ■現象 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：夏目光学株式会社
- 価格：応相談
