CKD 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ
50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールできる小形/低圧/電空レギュレータです。
■特徴 【低圧コントロール】 0~50kPaまでの低圧制御が可能。 【高精度コントロール】 ヒステリシス:0.5%F.S. 分解能:0.2%F.S. 【クリーン】 流路部ノングリス 【保護構造IP64】 電気配線:M12コネクタ ■事例 研磨力コントロールやCMP装置など
- 企業:CKD株式会社
- 価格:応相談
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50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールできる小形/低圧/電空レギュレータです。
■特徴 【低圧コントロール】 0~50kPaまでの低圧制御が可能。 【高精度コントロール】 ヒステリシス:0.5%F.S. 分解能:0.2%F.S. 【クリーン】 流路部ノングリス 【保護構造IP64】 電気配線:M12コネクタ ■事例 研磨力コントロールやCMP装置など
業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。 【高シール性】 プロセス安定化に貢献 ● 弁座部の最適設計と超精密加工 ● 弁閉動作時の2次側への漏れ(出流れ)を極限まで抑制 【高い微小流量制御性】 安定かつスムーズな動作を実現 ● 弁座部形状の最適設計 ● 微小流量でも安定制御 【ヒステリシス低減】 狙いの圧力に確実にミート ● 高品質材料の採用 ● 超精密加工
純水などの圧力制御用のマニュアル式レギュレータです。
■特徴 PYMシリーズ ボディステンレスを採用した空気・N2ガス・純粋用減圧弁 PMM20シリーズ 接続部 オールフッ素樹脂の純粋用減圧弁 PMM50シリーズ 純粋・温純水の大流量供給に対応された減圧弁 ※一部バリエーション販売終了、受注生産品御座います
圧力表示やエラー表示機能・ダイレクトメモリ機能など使い易い機能が充実した、小形・高機能な電空レギュレータです。
【デジタル表示器付】 制御状態が一目でわかるデジタル表示器搭載。 【モジュール接続】 フィルタ・レギュレータとモジュール接続可能。 【高精度・高応答】 リニアリティ:±0.3%F.S. ヒステリシス:0.5%F.S. 応答性:0.2sec 【プリセット入力機能】 本体に8chまでの圧力を記憶させ、外部信号で切換可能。 【ダイレクトメモリ機能】 外部からの入力信号不要。 製品の操作キーで2次側圧力を自由に調整可能。