伸長性ネガ型レジスト材料『STCシリーズ』
伸張性を兼ね備えたネガ型レジスト材料です
『STCシリーズ』は、下記特性兼ね備えたアクリル系ネガ型レジスト材料です。 ■伸張性 ■高感度 ■高透過率 ■高密着性 ■低温硬化 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
- 企業:大阪有機化学工業株式会社
- 価格:応相談
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伸張性を兼ね備えたネガ型レジスト材料です
『STCシリーズ』は、下記特性兼ね備えたアクリル系ネガ型レジスト材料です。 ■伸張性 ■高感度 ■高透過率 ■高密着性 ■低温硬化 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
当社独自のアクリル樹脂設計技術を生かし、 先端デバイスの高機能化に役立つユニークなレジスト材料を提供しています。
ニーズ・プロセスに合わせて、カスタマイズ可能です。 お気軽にお問い合わせください。 ■フォトスペーサー材 ・良パターニング性 線幅:4μm ~ 20㎛以上 ・薄膜化対応 高さ:0.8μm ~ 10μm以上 ・低温硬化対応 焼成温度:≧120℃ ■厚膜レジスト材 ・様々な形状対応 柱状(ドット)、直線状(L/S)、格子状、ドーム状、順テーパー、逆テーパー ・厚膜化対応 高さ:10μm ~ 100μm ■マイクロレンズ材 ・高透明性 ・低温硬化対応 焼成温度:≧100℃ ■絶縁膜材 ・高耐薬品性、高密着性、高透明性 ・低温硬化対応 焼成温度:≧100℃ ・恒温恒湿耐性 85℃/85%RH, 100 V, Ag or Cu 配線基板, 500時間以上抵抗値変化無し ・フレキシブル対応可能
レンズ形状が作製可能なアクリル系ネガ型レジスト材料です
『PMLシリーズ』は、下記特性を持つレンズ形状のパターン形成が可能なネガ型レジスト材料です。 ■ 高感度:≧ 50 mJ/cm2 ■ 高透過率:≧ 97% (Ave. @380~780 nm) ※ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
様々な形状のパターンが作製可能なネガ型厚膜レジスト材料です。
下記のように、良好な露光感度および透過率を有するネガ型厚膜レジスト材料です。 ■ 高感度:≧ 100 mJ/cm2 ■ 高透過率:≧ 90% (Ave. @380~780 nm) ■ さまざまな露光条件およびパターン形状に適用可能 厚さ:10〜50 μm、線幅:≧10 μm、露光輝線:g、h、i –line ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
ドライエッチングプロセスにて使用可能なポジ型レジスト材料です
『UPPシリーズ』は、下記特性を持ち、ドライエッチングプロセスにて使用可能な配線形成用途向けポジ型レジスト材料です。 ■ 高感度:≧ 40 mJ/cm2 ■ 良好なパターニング性能:≧ 4 μm ■ 良好なドライエッチング耐性 ※ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
逆テーパー形状およびホールパターンが作製可能な、リフトオフプロセス向けのアクリル系ネガ型レジスト材料です
『SAシリーズ』は下記特性を持つ、逆テーパー形状およびホールパターンの形成が可能なネガ型レジスト材料です。 ■ 厚膜形成可能:≦ 20 μm ■ 高感度:≧ 60 mJ/cm2 ■ 高耐熱性:≦ 130℃ ■ 室温にて有機溶剤で剥離可能 ※ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。