パターン修正に最適! NUV対物レンズ
レーザー用対物レンズ
NUVPlan20X・・・WD12mm、N.A. 0.5 NUVPlan50X・・・WD10mm、N.A. 0.52
- 企業:株式会社清和光学製作所
- 価格:応相談
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レーザー用対物レンズ
NUVPlan20X・・・WD12mm、N.A. 0.5 NUVPlan50X・・・WD10mm、N.A. 0.52
500万画素カメラ対応テレセントリックレンズ
200万〜500万画素カメラに対応したテレセントリックレンズです。広視野での画像撮りこみや高精細なアライメントに最適です。
ラインセンサーカメラ対応テレセントリックレンズ SVLシリーズ
最大素子長64mmに対応。 同軸落射にも対応、ガラス基板や鏡面上のパターンなどの撮りこみにも最適です。
ウェハーの裏面観察などに最適!長作動距離、高解像対物レンズです
『PE lR Plan対物シリーズ』は、近赤外域の分光透過率を高く設計した 長作動距離、高解像対物レンズです。 シリコンを透過してウェハーの裏面観察をしたり、フォトエミッション 故障解析用レンズとして使用できます。 当社の顕微鏡「PS-888L」に取り付け、YAGレーザと併用することで レーザーリペアなどにもご使用いただけます。 ※LCDガラス補正・シリコン補正に対応可能ですので、ご相談ください。 【特長】 ■フォトエミッション用レンズ ■長作動距離・高解像対物レンズ ■レザーリペアなどにも使用可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
白色干渉計での使用に最適!サンプルの高低差に対応した干渉縞が得られます
『MlFシリーズ』は、白色干渉計での使用を目的とした対物レンズです。 合焦位置でのサンプル像とともに内蔵するビームスプリッタと参照ミラー によりサンプルの高低差に対応した干渉縞が得られます。 カスタマイズで製作する受注製品に関しては、シャッターの有無・参照ミラーの 調整方法などをご相談の上製作いたします。 対象物に合わせた反射率の参照ミラーもご用意可能です。 【特長】 ■ビームスプリッタ内蔵 ■サンプルの高低差に対応 ■カスタマイズ製作対応 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適な長作動距離対物レンズ
『UV/DUV Plan APO20X・50X』は、明視野観察用の長作動距離対物レンズです。 可視域と近紫外で使用する波長において、ピントが合うように補正されていいます。 近紫外域の分光透過率を高く設計しており、顕微鏡に取付けてYAGレーザを併用 することで、半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適です。 【特長】 ■明視野観察用 ■分光透過率を高く設計 ■薄膜加工に最適 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
故障解析で電流リークによる極微弱な発光の検出に威力を発揮いたします
『PElR2000HR 20X・50X』は、2000nmで80%以上の透過率を維持した対物レンズです。 半導体デバイスの故障解析で電流リークによる極微弱な発光の検出に 威力を発揮いたします。 高集積、多層配線化された半導体デバイスを、チップの裏面からシリコンを 透過してくる赤外光で観察が可能です。 ※シリコン補正対応いたしますので、ご相談ください。 【特長】 ■2000nmで80%以上の透過率を維持 ■極微弱な発光の検出に威力を発揮 ■シリコン補正対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1ピクセル3μm未満のCMOSセンサーに対応した高解像テレセントリックレンズ
Cマウントで1.2インチ 1ピクセル3μm未満のCMOSセンサーに対応した高解像設計 WD65mmシリーズ 0.5x, 0.69x, 1x, 2xを発表
長作動距離テレセントリックレンズ
*2/3CCDフォーマットまで対応。 *全機種物体側テレセントリックレンズ。 *各倍率で同軸落射照明の有/無の選択可能。 *全機種全実視野内で0.1%以下の低ディストーション。 *全てのレンズにマルチコート。 *Cマウントは割締め固定方法採用により、より強固な固定を実現。 *Cマウントに清和光学標準20ファイフィルターを入れることが可能。
イメージサークルφ33mm対応!専用対物レンズ「M.PlanAPO HRシリーズ」もご用意
『MS-200-TCD33』は、12メガピクセルエリアカメラ(5.5μm、4096×3072) 「CMV1200」や、25メガピクセルエリアカメラ(4.5μm、5120×5120) 「Python25K」などに対応した、無限遠(f=200mm)のFマウント鏡筒です。 内蔵同軸落射照明対応。レーザーオートフォーカス・電動レボルバの 組込が可能です。 近赤外波長にも対応した、TNIRモデルも対物と合わせてご用意しております。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■Fマウント25メガピクセルカメラで全視野観察 ■レーザーオートフォーカス・電動レボルバ組込可能 ■f=200mm 無限遠設計 ■内蔵同軸落射照明対応 ■専用対物レンズは4機種ご用意 ・1.5X:22mm、2.5X:13.2mm、5X:6.6mm、10X:3.3mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。