超精密位置決め機器『NS1000シリーズ』
高速応答性と超高分解能。微小領域の高精度位置決めを実現します。※詳細なテクニカルデータ付きカタログ進呈中
圧電アクチュエータと変位センサの優れた特性を生かし微小領域の高精度位置決めを実現するNS1000シリーズ。 【特長】 ■ストローク30μm以下のステージで構成 ■圧電素子の微小な変位をダイレクトにテーブルに伝える構造 ■高分解能や高速応答 ⇒微小領域の超高精度位置決めに適しています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:THKプレシジョン株式会社
- 価格:応相談