高輝度広帯域プラズマ光源
高輝度。深紫外から近赤外までの幅広い波長範囲の出力が可能
特長 ・広帯域の波長範囲を出力：190〜2500nm/240～2500nm ・発光点が小さく、高輝度 ・時間的かつ空間的に高安定性 ・ランプおよび電極の磨耗がないため、長寿命:〜10 000時間
- 企業：ケイエルブイ株式会社
- 価格：応相談
光源(検査) - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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EUV光源
高輝度・低デブリを実現したLPP-EUV光源
ISTEQ社のTEUSシリーズは、高輝度・低デブリを実現したレーザー生成プラズマ（laser produced plasma）によるEUV光源です。 従来の液滴ターゲットと異なりプラズマ発生時に飛散するデブリの光学系への付着を防ぐことができます。
- 企業：ケイエルブイ株式会社
- 価格：応相談
