処理ユニット×アルクトス精密株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

排ガス処理ユニット

ろ過精度0.3um（95%）

『排ガス処理ユニット』は、半導体プロセスで発生する排ガス問題を解決する最適なソリューションです。 当社の排ガス処理ユニットは、VCD装置やエッチング装置などの半導体製造装置から発生する有害ガスを効率的に処理し、ドライ真空ポンプへの負荷を軽減します。 その結果、メンテナンス頻度の低減とコスト削減を実現し、設備の安定稼働と生産効率の向上に貢献いたします。

• 企業：アルクトス精密株式会社
• 価格：応相談

• ガス回収/処理装置