ろ過精度0.3um（95%）
『排ガス処理ユニット』は、半導体プロセスで発生する排ガス問題を解決する最適なソリューションです。 当社の排ガス処理ユニットは、VCD装置やエッチング装置などの半導体製造装置から発生する有害ガスを効率的に処理し、ドライ真空ポンプへの負荷を軽減します。 その結果、メンテナンス頻度の低減とコスト削減を実現し、設備の安定稼働と生産効率の向上に貢献いたします。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
対応可能なガスの種類 ・ 不活性ガス（Inert Gas）：He、SF₆、CO₂、CF₄、C₂F₆、C₄H₈、CH₃F など。 ・ 可燃性ガス（Flammable Gas）：SiH₄、Si₂H₆、B₂H₆、PH₃、SiH₂Cl₂、CH₃、C₂H₂、CO など。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
詳細情報
-
使用方法
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
アルクトス精密株式会社はグローバル・カンパニーをめざし て更なる成長に向けて、お客様の需要や信頼、期待に応 えて、社会に貢献する新たな価値を提案していきます。
