カソード ルミネッセンス 分光装置 SPARC
マイクロフォトニック構造研究用の高感度で複合機能を持つ高分解能角度分解型カソードルミネッセンスイメージング(CL)分光装置です。
SPARCの能力 SPARCはディープ・サブ波長の分解能でナノ・マイクロ構造のフォトニック研究に適した真に独特な分析手法です。 金属質（プラズモニック、Ag、Au、etc）、誘電体（SiO2、Si3N4、TiO2、etc）や半導体（Si、GaAs、CdTe、etc）のマイクロ・ナノフォトニック構造およびその関連材料の研究に有用です。
- 企業：エルミネット株式会社
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
