マイクロフォトニック構造研究用の高感度で複合機能を持つ高分解能角度分解型カソードルミネッセンスイメージング(CL)分光装置です。
SPARCの能力 SPARCはディープ・サブ波長の分解能でナノ・マイクロ構造のフォトニック研究に適した真に独特な分析手法です。 金属質（プラズモニック、Ag、Au、etc）、誘電体（SiO2、Si3N4、TiO2、etc）や半導体（Si、GaAs、CdTe、etc）のマイクロ・ナノフォトニック構造およびその関連材料の研究に有用です。
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基本情報
カソードルミネッセンス(CL)分光装置 SPARCは、SEMに接続し10nmより高い空間分解能でUV、可視光、IRスペクトル範囲を完全にカバーする高空間分解カソードルミネッセンスイメージング分光が行えます。 さらに、SPARCは放出される光の角度分解分光情報も合わせて提供します。組み込まれているピエゾでコントロールされるパラボリックミラーにより高効率な取込の定量測定を行うことができます。SPARCは他に類を見ない独特な組合せの装置です。
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
※６ヶ月以内
用途／実績例
半導体や炭素材料の欠陥、転位、不純物、組成の分析や評価 太陽電池の結晶構造の分析や評価
企業情報
社名のエルミネットは、 次の単語の頭文字をかたどっています。 Electron(電子） Microanalysis(微小領域分析） Network(ネットワーク）