オージェ分光分析
固体表面の元素組成と化学状態の分析が可能です。
表面≦5nm深さ、≦10nm径の微小領域、Li~Uまでの元素の高感度元素分析ができます。このため、材料表面の元素組成と化学状態分析、薄膜の分析が可能です。
- 企業:株式会社大同分析リサーチ
- 価格:応相談
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固体表面の元素組成と化学状態の分析が可能です。
表面≦5nm深さ、≦10nm径の微小領域、Li~Uまでの元素の高感度元素分析ができます。このため、材料表面の元素組成と化学状態分析、薄膜の分析が可能です。
FE-EPMAによる相分析により、材料中の各相の分布を可視化し、微細な相構造を明らかにすることが可能です。
電子線マイクロアナライザー(EPMA)を用いた相分析は、材料の元素濃度分布を詳細に解析し、そこから組成比を計算することで、存在する相の種類と分布を明らかにする手法です。 解析には専用ソフトウェア「フェイズマップメーカー」を活用します。EPMAで取得した元素マップデータを基に、元素のX線強度を二次元ヒストグラムとして表現した散布図を出力します。この散布図において、同じ相に属する測定点は互いに近接したクラスターを形成するため、その領域を指定することで、直感的に相の分布を示すフェイズマップを作成できます。 FE-EPMAによる相分析では、複数の異なる相を一つのフェイズマップ上に同時表示することで、各相の分布を一目で把握することができ、材料の特性や現象の原因となっている要素を迅速に解析できるため、問題解決や品質向上に貢献します。